電子探針儀鏡筒部分的構造大體上和掃描電子顯微鏡相同，只是在檢測器部分使用的是X射線譜儀、專門用來檢測X射線的特征波長或特征能量，以此來對微區的化學成分進行分析。因此，除專門的電子探針儀外，有相當一部分電子探針儀是作為附件安裝在掃描電鏡或透射電鏡鏡筒上，以滿足微區組織形貌、晶體結構及化學成分三位一體同位分析的需要 [1]。用波長色散譜儀（或能量色散譜儀）和檢測計數系統，測量特征X射線的波長（或能量）和強度，即可鑒別元素的種類和濃度。分析范圍廣。Z>4其中，波譜：Be~U，能譜：Na~U。黃浦區特制探針品牌

②隨機引物法。隨機引物是指含有各種可能排列順序的寡聚核苷酸片斷的混合物，因此它可以與任意核苷酸序列雜交，起到聚合酶反應的引物作用。將待標記的DNA探針片斷變性后與隨機引物一起雜交，然后以此雜交的寡聚核苷酸為引物，在大腸桿菌DNA聚合酶I大斷段（KlenowFragment）催化下，合成與探針DNA互補的DNA鏈，當在反應體系中含有a-32P-dNTP時，即形成放射性同位素標記的DNA探針。具有上述優點，可代替缺口平移法。此外大小、單雙DNA均可標記，標記均勻，標記率高，但也不能標記環狀DNA。隨機引物法標記探針一般長400~600bp。寶山區品牌探針五星服務光學顯微鏡目測系統。用以準確選擇需要分析的區域，并作光學觀察。

2）X射線能譜分析法。無須分析晶體，而直接將探測器接收的訊號加以放大，進行脈沖幅度分析，通過選擇不同的脈沖幅度來確定入射x射線的能量，從而區分不同的特征X射線。計算時應用布拉格方程：nλ=2dsinθ。 [2]1、能進行微區分析。可分析數個μm3內元素的成分。2、能進行現場分析。無需把分析對象從樣品中取出，可直接對大塊試樣中的微小區域進行分析。把電子顯微鏡和電子探針結合，可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯系起來。3、分析范圍廣。Z>4其中，波譜：Be~U，能譜：Na~U。

***臺電子探針是法國制成的，是在1949年用電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。1953年前蘇聯制成了X射線微區分析儀，以后英、美等國陸續生產。***臺掃描電子探針儀是美國于1960年制成，不僅能對試樣作點或微區分析，而且能對樣品表面微區進行掃描。原子序數12至22的元素要在真空下進行成分測定，原子序數12以內的元素需要增添一些特殊設備才能分析。原子序數50以上的元素用L系X射線光譜進行分析，原子序數50以下的元素也可以分析，如Sn（50）可用K系x射線光譜進行分析。 [2]近年來半導體制程技術突飛猛進，超前摩爾定律預估法則好幾年，現階段已向7奈米以下挺進。

電子探針儀（圖1）主要包括：探針形成系統 (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統和顯示、記錄系統、樣品室、高壓電源和掃描系統以及真空系統。電子探針的**早應用領域是金屬學。對合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析，直觀而方便，還能較準確地測定元素的擴散和偏析情況。此外，它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問題，測定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等，是機械構件失效分析、生產工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針分析照片。探針卡應用在IC尚未封裝前，針對裸晶系以探針做功能測試，篩選出不良品、再進行之后的封裝工程。浦東新區特制探針現價

電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。黃浦區特制探針品牌

特異性探針有三種形式——cDNA、RNA、寡核苷酸。cDNA和寡核苷酸是**常采用的探針。RNA探針用途很廣，也容易獲得，但其不穩定性限制了其商業用途。cDNA探針的獲得是，將特定的基因片段裝載到質粒或噬菌體中，經過擴增、酶切、純化等復雜的步驟，才能得到一定長度的cDNA探針。這一過程比較復雜，有相應條件的實驗室才能做到。寡核苷酸探針是在已知基因序列的情況下，由核酸合成儀來完成，可廉價獲得大量的此類探針。質量也相對來說更為穩定。由于cDNA探針長度通常為數百至數千個堿基，所以有良好的信號放大作用，但其滲透性比較差。寡核苷酸探針一般為十數個至數十個堿基，滲透性強，但信號放大作用則較差，合成的多相寡核苷酸探針，敏感性可以達到cDNA探針水平。黃浦區特制探針品牌

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