臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉鼓開始高速旋轉時，晶圓表面殘留的液體（如清洗液、刻蝕液等）在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉鼓轉速和晶圓到旋轉中心的距離決定，根據公式2（其中是離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），通過精確控制轉鼓轉速，可以產生足夠強大的離心力，使液體沿轉鼓切線方向甩出。在甩干過程中，除了離心力的直接作用，設備內部的通風系統也發揮關鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉鼓內部，在晶圓表面形成氣流，加速液體的蒸發。同時，由于不同液體的揮發性不同，在離心力和氣流的共同作用下，揮發性較強的成分會更快地揮發，使晶圓表面達到高度干燥狀態。強勁動力系統：搭載大功率電機，轉速穩定，脫水速率快，含水率可降至行業低位。陜西離心甩干機生產廠家
在半導體制造流程里，晶圓甩干機至關重要。它利用離心力原理工作，當晶圓置于甩干機旋轉平臺，電機帶動平臺高速轉動，離心力使晶圓表面液體向邊緣移動并甩出，實現快速干燥。其結構主要有高精度旋轉平臺，確保晶圓平穩旋轉；強勁驅動電機，提供穩定動力并精 zhun 調速；智能控制系統，便于操作人員設定甩干時間、轉速等參數。在實際應用中，清洗后的晶圓殘留液體若不及時去除，會影響后續光刻、蝕刻等工藝。晶圓甩干機高效去除液體，保障晶圓表面干燥潔凈，為后續工藝順利進行奠定基礎，提升芯片良品率。上海立式甩干機設備防纏繞內筒紋路：特殊凹凸設計減少物料纏繞，甩干后物料更松散均勻。
高效穩定的晶圓處理利器晶圓甩干機作為半導體行業中不可或缺的設備之一，以其高效、穩定的特點，成為了晶圓處理中的重要環節。作為我公司的重心產品，我們的晶圓甩干機經過多年的研發和優化，以滿足客戶在晶圓處理過程中的需求。首先，我們的晶圓甩干機采用了先進的技術，確保了其高效穩定的運行。我們引入了較新的離心甩干技術，通過 gao 速旋轉的離心力將水分從晶圓表面甩干，使得晶圓在處理過程中更加干燥。同時，我們的晶圓甩干機還配備了智能控制系統，能夠根據不同的晶圓尺寸和處理要求進行自動調節，確保每一次處理的效果穩定可靠。其次，我們的晶圓甩干機擁有較大的處理能力和靈活的適配性。
隨著芯片制造工廠對生產效率和質量控制的要求越來越高，立式甩干機的自動化程度也備受關注。它需要具備高度自動化的上料、下料功能，能夠與芯片制造的前后工序設備實現無縫對接，例如通過機械手臂或自動化傳輸系統實現晶圓的自動進出料。在運行過程中，甩干機能夠根據預設的工藝參數自動啟動、停止、調整轉速、控制氣流和加熱等操作，并且可以自動監測設備的運行狀態，如溫度、壓力、液位等參數，一旦出現異常情況能夠及時報警并采取相應的保護措施。此外，自動化控制系統還應具備數據記錄和分析功能，能夠記錄每一次甩干操作的工藝參數、設備運行狀態和晶圓的質量數據等信息，便于后續的生產管理、質量追溯和工藝優化。雙電機單獨驅動：兩工位轉速可單獨調節，滿足差異化處理需求。
光刻是芯片制造中極為關鍵的環節，它決定了芯片的電路圖案精度和密度。在光刻膠涂覆之前，晶圓必須處于干燥潔凈的狀態，因為任何殘留的液體都會干擾光刻膠的均勻涂布，導致光刻膠厚度不均勻，進而影響曝光和顯影效果。例如，在曝光過程中，光刻膠厚度不均會使光線透過光刻膠時產生折射和散射差異，導致曝光劑量不均勻，導致顯影后的圖案出現失真、分辨率降低等問題，嚴重影響芯片的性能和成品率。而在光刻完成后的顯影過程后，晶圓表面又會殘留顯影液，此時立式甩干機再次發揮關鍵作用，將顯影液徹底去除，為后續的芯片加工步驟（如刻蝕、離子注入等）做好準備，確保光刻工藝能夠精確地將設計圖案轉移到晶圓上，實現芯片電路的高保真度制造。雙層減震系統的雙腔甩干機有效降低高頻振動，保護地板。上海甩干機
雙腔甩干機配備智能感應系統，自動平衡衣物分布，減少震動噪音。陜西離心甩干機生產廠家
晶圓甩干機，是半導體制造工藝中負責晶圓干燥處理的關鍵設備，對提升芯片制造質量起著舉足輕重的作用。該設備的工作原理建立在離心力的基礎之上。當晶圓被準確放置在甩干機的旋轉托盤上，電機驅動托盤飛速轉動。在高速旋轉產生的離心力影響下，晶圓表面的液體因受力不均，從中心向邊緣快速移動，并被甩出晶圓表面，實現干燥效果。晶圓甩干機的結構設計充分考慮了半導體制造的高精度需求。旋轉系統采用高精度的軸承和平衡裝置，確保在高速運轉時晶圓始終保持平穩，防止因振動產生的晶圓損傷。驅動系統配備高性能電機，能夠精 zhun 控制轉速，滿足不同類型晶圓和工藝的干燥要求。此外，還有先進的控制系統，操作人員可通過它輕松設置干燥時間、轉速等參數，實現自動化操作。同時，設備還具備安全防護裝置，如緊急制動系統和防護門聯鎖裝置，確保操作人員的安全。在半導體制造流程里，晶圓甩干機緊跟清洗工序。清洗后的晶圓若不及時干燥，殘留液體可能引發腐蝕、污染等問題。晶圓甩干機憑借其高效的干燥能力，迅速去除晶圓表面液體，為后續的光刻、刻蝕等精密工藝提供干燥、潔凈的晶圓，有效提高了芯片制造的良品率與生產效率。陜西離心甩干機生產廠家
