CVD)的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4種,即硅烷、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。5.蝕刻氣體(Etchinggases):蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉,而使有光刻膠掩蔽的區域保存下來,這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是,圖形邊緣整齊,線條清晰,圖形變換差小,且對光刻膠膜及其掩蔽保護的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學蝕刻和干法化學蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制精確、方便、無脫膠現象、無基片損傷和沾污,所以其應用范圍日益***。6.摻雜氣體(DopantGases):在半導體器件和集成電路制造中,將某種或某些雜質摻入半導體材料內,以使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率,用來制造PN結、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。四川乙炔標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。成都便攜式氣體廠家有哪些
容器選擇盛裝標準氣體的容器應由耐腐蝕、抗壓、吸附少、不生銹、化學特性穩定、機械強度高的材料制成,通常使用的高壓容器是鋁合金瓶,而碳鋼瓶因其內壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰。預處理盛裝標準氣體的鋼瓶使用前應進行表面清潔、涂漆處理,然后,將鋼瓶加溫至100℃左右,同時抽真空處理約4h。鋼瓶處理完畢后,必須分析其H2O、O2等雜質含量,合格后方可使用。氣體要求配制10%的CH4/Ar四瓶,進行為期一年的穩定性考察,見表1,實驗結果表明,由于鋁合金鋼瓶內壁比較光滑,因此在盛裝一般長久氣體時性質穩定,變化不大,鋼瓶不用特殊處理,即可滿足此類標準氣體穩定性的要求。在配制COS、H2S、SO2等氣體時,必須對鋼瓶進行KG或CM處理,即為了防止容器內壁因吸附或解吸等帶來的影響。先對容器內壁進行鏡面研磨,涂上防氧化漆,然后把高濃度氣體充入容器內并放置10d左右,從而提高標準氣體的穩定性。用未經KG或CM處理的鋼瓶配制mg/m3,COS/N2一瓶,實驗結果見圖1。用經KG處理的鋼瓶配制mg/m3COS/N2一瓶,實驗結果見圖2。以上實驗結果表明。配制易吸附標準氣體時,鋼瓶必須經KG或CM處理,才能保證其穩定性可靠,否則,組分氣的含量變化很大,不宜作為標準氣體來使用。工業氣體批發福建氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
配氣準度要求以配氣允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2MI配氣允差標準,但各公司均有企業標準。組分的**低濃度為10-6級,組分數可多達20余種。配制方法可采用重量法,然后用色譜分析校核,也可按標準傳遞程序進行傳遞。3、電子氣體(Electronicgases):半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4_6m+p-_4氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、LSI(大規模集成電路)級、VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。4.外延氣體(Cpita***algases):在仔細選擇的襯底上采用化學氣相淀積(CVD)的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4種,即硅烷、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。5.蝕刻氣體(Etchinggases):蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉。
混合罐。標準氣體分壓法1、適用范圍分壓法適用于制備常溫下是氣體,含量在1~60%的標準混合氣體2、所需設備配氣設備:氣瓶匯流排,壓力表,閥門,真空泵,管道,氣瓶卡具。標準氣體擴散法1、適用范圍擴散法適用于制備常溫下是液體的有機氣體2、所需設備配氣設備:氣瓶,閥門,流量控制閥,流量計,液體組分,分析儀表氣瓶,卡具。標準氣體容積法1、適用范圍靜態容積法適用于實驗室制備多種小、少量的標準氣體,壓力接近大氣壓力。2、所需設備配氣設備:氣瓶,氣瓶減壓閥門,定體積管,壓力計,真空泵。標準氣體飽和法1、適用范圍飽和法法適用于易于冷凝的氣體和蒸汽。2、所需設備配氣設備:氣瓶,氣瓶減壓閥門,冷凝器,飽和器,恒溫控制器,壓力計,循環風機。標準氣體流量法1、適用范圍流量比法法是動態配氣方法,是嚴格控制一定比例的組分氣體和釋稀釋氣體的流量,經混合而得到的標準氣體。2、所需設備氣瓶,氣瓶減壓閥門,單向閥,流量控制器,壓力表,管道,機箱。標準氣體稀釋法1、適用范圍稀釋法法法是制備低含量標準氣體的方法之一。2、所需設備氣瓶,氣瓶減壓閥門,流量控制器,壓力表,管道。標準氣體體積法1、適用范圍體積比法是簡單的配氣方法。氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
氣體工業名詞術語(標準2113氣體、高5261純氣體、特種氣體)1.特種氣4102體(Specialtygases):指那些在特定領域1653中應用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多,通??蓞^分為電子氣體、標準氣、**氣、醫用氣、焊接氣、**氣等,***用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。2.標準氣體(Standardgases):標準氣體屬于標準物質。標準物質是高度均勻的、良好穩定和量值)準確的測定標準,它們具有復現、保存和傳遞量值的基本作用,在物理、化學、生物與工程測量領域中用于校準測量儀器和測量過程,評價測量方法的準確度和檢測實驗室的檢測能力,確定材料或產品的特性量值,進行量值仲裁等。大型乙烯廠、合成氨廠及其它石化企業,在裝置開車、停車和正常生產過程中需要幾十種純氣和幾百種多組分標準混合氣,用來校準、定標生產過程中使用的在線分析儀器和分析原料及產品質量的儀器。標準氣還可用于環境監測,**的有機物測量,汽車排放氣測試,天然氣BTU測量,液化石油氣校正標準,超臨界流體工藝等。標準氣視氣體組分數區分為二元、三元和多元標準氣體。成都丙烷標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。福建丙烷標準氣體廠家有哪些
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葡萄酒中適量的二氧化硫對人體是無害的。值得一提的是微量二氧化硫對**人群無害,但對體質者和病人可能有影響。高轉速大于萬轉分不過科學家沒有被這些困難所嚇倒,仍然打算進一步推進研究。有理論預測液態金屬氫可能是一種室溫超導體,這也給他們的研究帶來了一些應用前景。寶山工業氬氣出售,標準氣體氖氣燈大多數應用于霓虹燈上,霓虹燈在市面上是***應用,那么霓虹燈的原理是什么呢?***的小編就帶你一起來看一下,多信息請**在線詢價,或者我們的電話霓虹燈原理在密閉的玻璃管內,充有氖,氦,氬等氣體,燈管兩端裝有兩個金屬電極,電極一般用銅材料制作,電極引線接入電源電路,配上一只高壓變壓器,將~的電壓加在電極上由于管內的氣體是由無數分子構成的,在正常狀態下分子與原子呈中性在高電壓作用下,少量自由電子向陽極運動,氣體分子的急劇游離激發電子加速運動,使管內氣體導電,發出色彩的輝光(又稱虹光)霓虹燈原理的發光顏色與管內所用氣體及燈管的顏色有關,霓虹燈原理如果在淡黃色管內裝氖氣就會發出金黃色的光,如果在無色透明管內裝氖氣就會發出黃白色的光霓虹燈原理要產生不同顏色的光。成都便攜式氣體廠家有哪些