極紫外光刻（英語：Extremeultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長是下一代光刻技術，其波長為13.5納米，預計將于2021年得到廣泛應用。幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收，因此，EUV光刻機的光學系統只有使用反光鏡。我們上海微聯實業的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料，很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結構使其可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數接近。，降低其膨脹系數不匹配的影響，可以避免了光機系統材料膨脹系數不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統參數長期穩定在一個范圍值內。RSP鋁合金可以用現有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構，充分發揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學系統成像質量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好，在航空航天材料應用中有良好的性價比。上海微聯RSA443微晶鋁合金。高精密微晶鋁合金RSA-6061

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普通鋁合金冷卻速度慢會帶來內部產生粗大的枝晶，熱應力失衡。表面顆粒分布不均勻，造成表面不平整，熱膨脹系數大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法，使的兩種金屬形成均質的合金，使晶粒大小分布均勻。這樣容易得到鋁合金表面高的平整度，使其獲得更高的強度和韌性。因為是硅鋁合金，很好的綜合了兩種金屬的優點。具有高耐磨性能和精加工性能。熱穩定性能和機械穩定性能高。RSA-905適合精拋光加工，應用于反射鏡和光學透鏡模具，模次率高。RSA-443熱穩定性和機械穩定性高，應用于高精密工業半導體部件。

RSP鋁合金可以應用在空間探測設備上。在空間的低溫環境下，一般材料匹配性能不佳。鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數接近。，降低其膨脹系數不匹配的影響，可以避免了光機系統材料膨脹系數不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統參數長期穩定在規定范圍值內。RSP鋁合金可以用現有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構，充分發揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學系統成像質量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好，使用周期長，在航空航天材料應用中有良好的性價比。微晶鋁合金可以做航天緊固件。

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