激光干涉儀原理：激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。精密測量激光干涉儀維護

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。數控軸直線度激光干涉儀購買激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等。

激光干涉儀的應用：數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

激光干涉儀使用技巧；Z軸激光光路快速準直方法：用激光干涉儀進行線性測量時，Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求，準直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度進行測量。安徽專業激光干涉儀加工生產

激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧。精密測量激光干涉儀維護

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領域應用普遍。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。精密測量激光干涉儀維護