單頻激光干涉儀：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀的光源——激光。正規激光干涉儀品質保障

多功能激光干涉儀：主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號，如測量光強和電壓隨時間變化的波形。因為它的響應速度極快，是微微秒(Ps)量級。所以，它非常適用于超快變電場和超短光脈沖信號變化的測量。已有技術主要有兩個方面。一是普通干涉儀，如一九八七年機械工業出版社出版的“剪切干涉儀及其應用”一書中描述的干涉儀，可用來做多樣的測量工作，但它既不能像示波器一樣示波顯示電信號的波形，也不能示波顯示光信號、磁信號的波形。雖然能示波顯示電信號和光信號的波形，但不能示波顯示其他如磁信號的波形等。而且，這些測量系統內不含有干涉系統。專業激光干涉儀設備廠家雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具。

激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調整更方便，提高了測試效率。立式架構整機占地更小；整個干涉腔，處于穩定的框架結構下，這樣對抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優勢，比如高精度曲率半徑測量，大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量，要求樣品表面保持和工作狀態一致的條件下測量。工業現場測試環境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩定。在某些應用場合，基于測試效率，樣品夾持，測試方式或精度的要求，立式配置會更有優勢。

激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀使用注意事項：避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

激光干涉儀的測試質量是由鏡子本身和反沖質量組成的復合體。這個復合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質量相等的反沖質量體內做成的。鏡子和反沖質量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應的線圈固定在反沖質量體與其相對的面上。針伸入對應的線圈內,組成磁鐵-線圈驅動器。這四組磁鐵-線圈驅動器用來調整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。激光干涉儀可以進驅動系統的響應特性分析。數控軸平面度激光干涉儀供應商

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：激光器頻率(波長)及頻率穩定性。正規激光干涉儀品質保障

激光干涉儀常見故障及解決方法：開機無顯示：1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整：1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。高度調節不明顯：檢查高度調節旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗：調節干涉儀上的亮度調節旋鈕。干涉條紋亂：檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。被測鏡片星點像找不到：調整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動：調節標準鏡頭的圓形圖像。正規激光干涉儀品質保障