激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。“干涉法”是一種利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。激光干涉儀的注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。蘇州機床設備激光干涉儀加工設計

激光干涉儀使用注意事項：1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。蘇州機床設備激光干涉儀加工設計激光干涉儀有數控機床動態性能檢測的應用。

激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現平衡狀態，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時穩定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。

現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀的測量精度高。

單頻激光干涉儀：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。遼寧進囗激光干涉儀定制

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具。蘇州機床設備激光干涉儀加工設計

數控機床設備在維修維保或機床設備大修之后，使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現線性數控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，把檢測的數據值通過數控系統參數補償進入數控系統，利用數控系統消除數控軸的正常磨損誤差，利用球桿儀檢測數控軸聯動加工的真圓度，不但可以提高相關聯的幾個數控軸聯動加工的精度等級，還保證了數控軸的精度、延長數控軸的壽命。保證數控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器，對數控機床設備進行精度的再校準。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標準，它具備自動線性誤差補償功能，可以方便恢復機床精度。蘇州機床設備激光干涉儀加工設計

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