影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。隨著雙頻激光干涉儀的出現，具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點。進囗激光干涉儀

多功能激光干涉儀，適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發射光源、雙脈沖形成裝置、擴束器、微分時間延遲器、聚焦系統、干涉系統、轉換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統、被測信號接口、同步裝置和補償元件。具有時間分辨率精度高、響應速度快、用途廣，可以實時測量的優點。多功能激光干涉儀由十一部分構成：超短脈沖發射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統5、干涉系統6、轉換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統8、被測信號接口9、同步裝置10和補償元件11。其中，轉換元件7在干涉系統6的一個臂的光路A中，補償元件11是在干涉系統6的另一個臂的光路B中。鄭州數控軸垂直度激光干涉儀激光干涉儀要設置專庫存放。

激光干涉儀的測試質量是由鏡子本身和反沖質量組成的復合體。這個復合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質量相等的反沖質量體內做成的。鏡子和反沖質量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應的線圈固定在反沖質量體與其相對的面上。針伸入對應的線圈內,組成磁鐵-線圈驅動器。這四組磁鐵-線圈驅動器用來調整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。

干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的，初用于檢定基準線紋尺，后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。激光干涉儀的應用：數控機床動態性能檢測。

鏡組的靈活使用：激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。四川激光干涉儀品牌

可進行滾珠絲桿的動態特性分析。進囗激光干涉儀

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。進囗激光干涉儀