干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的，初用于檢定基準線紋尺，后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點。安徽多功能激光干涉儀維護

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。河南激光干涉儀品質保障激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。

激光干涉儀的主要特點：測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。全套系統重量只15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。

激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態位移測量系統。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快的特點。

激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀具有較高的精度和效率。南京數控設備定位精度激光干涉儀

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。安徽多功能激光干涉儀維護

激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀的使用注意事項激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。安徽多功能激光干涉儀維護