激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。功能廣；可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；可實現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。濟(jì)南數(shù)控軸平行度激光干涉儀加工設(shè)計

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準(zhǔn)的高精度測量儀器，隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn)，因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點，已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器，在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分，單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大，一般用于特定環(huán)境的實驗室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移，對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強(qiáng)，普遍應(yīng)用于各種工況下。吉林小型激光干涉儀激光干涉儀的測量讀數(shù)均與激光波長有關(guān)。

多功能激光干涉儀，適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發(fā)射光源、雙脈沖形成裝置、擴(kuò)束器、微分時間延遲器、聚焦系統(tǒng)、干涉系統(tǒng)、轉(zhuǎn)換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統(tǒng)、被測信號接口、同步裝置和補(bǔ)償元件。具有時間分辨率精度高、響應(yīng)速度快、用途廣，可以實時測量的優(yōu)點。多功能激光干涉儀由十一部分構(gòu)成：超短脈沖發(fā)射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴(kuò)束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統(tǒng)5、干涉系統(tǒng)6、轉(zhuǎn)換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統(tǒng)8、被測信號接口9、同步裝置10和補(bǔ)償元件11。其中，轉(zhuǎn)換元件7在干涉系統(tǒng)6的一個臂的光路A中，補(bǔ)償元件11是在干涉系統(tǒng)6的另一個臂的光路B中。

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的工具。

激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。激光干涉儀使用注意事項：儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。坐標(biāo)測量機(jī)激光干涉儀購買

激光干涉儀作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。濟(jì)南數(shù)控軸平行度激光干涉儀加工設(shè)計

激光干涉儀的測試質(zhì)量是由鏡子本身和反沖質(zhì)量組成的復(fù)合體。這個復(fù)合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質(zhì)量相等的反沖質(zhì)量體內(nèi)做成的。鏡子和反沖質(zhì)量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應(yīng)的線圈固定在反沖質(zhì)量體與其相對的面上。針伸入對應(yīng)的線圈內(nèi),組成磁鐵-線圈驅(qū)動器。這四組磁鐵-線圈驅(qū)動器用來調(diào)整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質(zhì)量的狀態(tài)進(jìn)行實時控制,使干涉儀穩(wěn)定地保持鎖定狀態(tài)。濟(jì)南數(shù)控軸平行度激光干涉儀加工設(shè)計