鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間...
激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對(duì)Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀常配合筆記本電腦使用。機(jī)床設(shè)備激光干涉儀供應(yīng)廠家
激光干涉儀的使用方法:開機(jī):接通電源打開電源開關(guān),1分鐘后開始檢測(cè)。(因?yàn)閯傞_機(jī)激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整:旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn),顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測(cè):調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測(cè),自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合,觀測(cè)顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步,無(wú)需切換,任何人都能簡(jiǎn)單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長(zhǎng)的測(cè)試軌道來(lái)配合測(cè)量尺寸,可簡(jiǎn)便的測(cè)量出曲率半徑。山東激光干涉儀購(gòu)買激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。
當(dāng)高壓連接在陽(yáng)極和陰極之間時(shí),混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過(guò)放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來(lái)成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過(guò)加熱器控制激光管長(zhǎng)度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時(shí)穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測(cè)量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長(zhǎng)輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標(biāo)稱波長(zhǎng)為633nm,長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí),被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測(cè)器中形成干涉光束④。
激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量,具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn),已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的幾乎全部知識(shí)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。激光與普通光源相比,具有一些獨(dú)特的性質(zhì):?jiǎn)紊院谩⑾喔尚院谩⒎较蛐詮?qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。由于激光具有極好的時(shí)間相干性,自問(wèn)世以來(lái),已研制出多種激光干涉儀:?jiǎn)晤l激光干涉儀、激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快的特點(diǎn)。
激光干涉儀,以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光干涉儀的光源——激光,具有強(qiáng)度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)使用。可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器。同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。可選的無(wú)線遙控傳感器比較長(zhǎng)的控制距離可到25米。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床。南京激光干涉儀廠家
激光干涉儀維護(hù)保管時(shí)需要注意哪些方面?機(jī)床設(shè)備激光干涉儀供應(yīng)廠家
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒(méi)有變化時(shí),激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。當(dāng)高壓連接在陽(yáng)極和陰極之間時(shí),混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過(guò)放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來(lái)成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過(guò)加熱器控制激光管長(zhǎng)度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時(shí)穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測(cè)量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長(zhǎng)輸出。機(jī)床設(shè)備激光干涉儀供應(yīng)廠家
鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間...
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