激光干涉儀：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。四川數控軸幾何參量激光干涉儀設計

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。東莞儀器校準激光干涉儀維修激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。

激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。

激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態位移測量系統。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀可以進導軌的動態特性分析等。

近幾年，隨著光學產品的快速發展，從航天等高科技產品到數碼相機、手機等大眾消費產品，無不與光學息息相關，推動了光學研究和光學加工的快速發展，同時也光學檢測手段提出了更高的要求，也正因為如此，激光干涉儀成為眾多光學冷加工廠商的夢想與追求，擁有一臺激光干涉儀，就擁有世界的檢測手段，就擁有令人信服的檢測結果，就能證明可以生產的產品。激光干涉儀的使用方法：1、開機：接通電源打開電源開關，1分鐘后開始檢測。（因為剛開機激光器不穩定）2、光路調整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像。激光干涉儀哪種質量比較好？廣州激光干涉儀廠家有哪些

激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量。四川數控軸幾何參量激光干涉儀設計

激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。四川數控軸幾何參量激光干涉儀設計