廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-27

設(shè)備采用雙門(mén)互鎖結(jié)構(gòu)和多重密封技術(shù)，結(jié)合高效氣體置換算法，通過(guò)進(jìn)氣口通入高純惰性氣體，同時(shí)通過(guò)出氣口排出腔體空氣，配合氧傳感器實(shí)時(shí)反饋，實(shí)現(xiàn)無(wú)氧環(huán)境的快速建立和穩(wěn)定維持。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備支持自動(dòng)補(bǔ)氣模式，確保長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)生產(chǎn)時(shí)氧含量波動(dòng)≤±5ppm。

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