上海高傳電子科技有限公司2024-05-18

1.安裝和校準： ● 將Microx-223氧分析儀安裝在RTA退火爐的氣體出口或取樣點，確保傳感器能夠直接接觸到爐內處理過程中的氣體。 ● 在安裝之前對氧分析儀進行校準，以確保其測量結果的準確性和可靠性。 2.系統集成： ● 將氧分析儀與RTA退火爐的控制系統（通常是自動化或PLC系統）進行集成。這可以通過硬線連接或網絡通訊（如RS-232, RS-485, Ethernet等）實現。 ● 集成后氧分析儀可以實時向控制系統提供氧含量的數據，控制系統則可以根據這些數據調整爐內條件或觸發警報。 3.設置報警和監控閾值： ● 在控制系統中，為Microx-223氧分析儀設置報警閾值。當氧含量超過或低于這些閾值時，系統應能夠觸發警報，以通知操作人員及時采取措施。 ● 設置監控閾值，以便操作人員和質量控制團隊可以持續監控氧含量，并據此調整工藝參數或進行故障排除。 4.數據記錄和分析： ● 利用控制系統或附加的數據采集系統，記錄氧含量的歷史數據。 ● 分析這些數據，以識別工藝穩定性、產品一致性和潛在的工藝改進點。 5.維護和校準： ● 定期對Microx-223氧分析儀進行維護和校準，以確保其長期準確性和可靠性。 ● 根據制造商的建議和半導體工藝的要求，制定維護計劃。

本回答由 上海高傳電子科技有限公司 提供