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ETS蜂鳥閥的量子傳感技術如何提升控制精度？

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上海大載機電有限公司2025-07-02

集成氮空位色心傳感器：①位置檢測分辨率達0.1nm；②零漂移特性；③耐強電磁干擾。實現閥位控制精度±0.001mm，比傳統編碼器提高100倍，特別適合光刻機等精密裝備。

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上海大載機電有限公司
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簡介：2012 年成立的上海大載機電，丹佛斯代理企業。品質保真，專業服務，從銷售到銷服一體，未來持續創新。
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