甲酸爐設備的緊急排空系統響應時間是多少？

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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-07

緊急排空閥全開時間≤2 秒，可在 30 秒內將腔體壓力從常壓降至安全水平。廣東華芯半導體技術有限公司的排空管路采用大口徑設計（直徑≥100mm），確保甲酸蒸汽快速排出。

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簡介：廣東華芯半導體技術有限公司主營真空固晶回流焊、熱風氮氣焊接設備及無氧銀漿烤箱等設備。

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