廣東華業建設集團有限公司2025-04-23

芯片光刻精度達納米級，微振動（如設備運行、人員走動）可能導致圖案偏移。控制標準： 垂直振動：≤5μm/s（頻率 1-30Hz）； 水平振動：≤2μm/s（頻率 1-30Hz）； 通常通過地面減震墊、設備單獨基座、限制人員快速移動等方式實現。 廣東華業建設集團有限公司，創建于2005年，是一家專業集：設計研發、生產制造、施工調試專業工程公司，專注在1級-30萬級無塵車間裝修工程，20多年經驗專業為您服務。

本回答由 廣東華業建設集團有限公司 提供