隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是普遍的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。沃德氣體通過專業的知識和可靠技術為客戶提供服務。多級干式真空泵廠家
干式真空泵的抽氣量:無油渦旋真空泵由于內部結構問題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中;干式螺桿真空泵型號齊全,可適用大抽氣量工藝中,配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。泉州羅茨干式真空泵機組公司可靠的質量保證體系和經營管理體系,使產品質量日趨穩定。
W型往復式真空泵是獲得真空的主要設備之一。用于從密閉容器中或反應鍋中抽除空氣與其他氣體,不適用于抽除腐蝕性的氣體或者帶有硬顆粒灰粉的氣體,W型真空泵具有體積小、維修簡單、閥片壽命長等優點,適用于在較高壓強范圍內使用,極限真空2000pa左右。2、旋片式真空泵。①2X型旋片式真空泵為雙極結構容積式真空泵,由偏心安裝的帶有旋片的轉子高速旋轉,使泵腔的容積不斷變化而完成抽氣作用。該泵裝有氣鎮閥,當被抽氣體中含有少量水蒸汽時,開啟氣鎮閥向泵的排氣腔注入空氣,水蒸氣可以和空氣一起排出,不致在泵中凝結成水,被油乳化。2X型真空泵可以單獨作為主泵使用,也可作為增壓泵、擴散泵和分子泵的前級泵使用。②2XZ型旋片式真空泵,為雙級直聯結構,其抽氣原理與2X型相同。該泵具有體積小、重量輕、噪聲低、啟動和移動方便等優點,適用于實驗室使用。2XZ型真空泵可以單獨使用,也可作為增壓泵、擴散泵和分子泵的前級泵、維持泵等。該泵不適用于腐蝕性氣體及含顆粒灰粉的氣體。真空泵電機過熱如何解決真空泵在使用時會出現電機過熱的現象,那么,如何解決真空泵電機過熱呢?1、將原風扇罩加長40cm,在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機,軸流風機電機功率850W。
真空泵的應用成本費一直是挑選真空泵的關鍵要素。越來越多的真空泵客戶觀念到真空泵的可靠性也應當獲得考慮到。因為機械泵安全偏差會造成設備應用高效率減少,危害晶圓的制造和交貨,乃至導致晶圓等零件的生產加工毀壞。斷臂設計采用單級設計,與多級泵相比,球縫、指甲、指甲和組合)可以減少60%的部件。正是穩定性和未來維護費用的巨大優勢綜上所述,假如客戶覺得耗電量對他而言是**關鍵的,那麼選擇內部加壓螺釘將會是一個好的選擇,而氮含量對他**不關鍵。但是,總的來說,尾氣處理的要求越來越嚴格,減少未來氮的使用量的話是很重要的。假如你要在不應用簡易的庫存商品操縱泵的狀況下解決各種各樣半導體材料加工工藝,比較好是應用外界扭緊螺釘。根據情況,結合以上所有設計類型的優勢必須是比較大的理想的選擇,但還不可能。因而,客戶必須掌握干試泵的設計有不一樣的設計種類,隨后依據本身的加工工藝特性,掌握不一樣種類泵的設計危害。這類選擇項較大程度地降低了應用成本費,并出示了更長的使用壽命和平穩的真空系統。干式真空泵的選型要點:大伙兒了解嗎?干式真空泵的規格型號都是各種各樣的,而且生產廠家不一樣,商品是多少也有一定的區別。做為顧客。沃德氣體在客戶和行業中樹立了良好的企業形象。
更換時應注意保證進氣口和軸承蓋的密封。爪型干式無油真空泵是一種能夠提高產品品質、提高生產效率,為企業創造更多價值的設備,但這些都是建立在合理使用的基礎上。好的使用習慣能夠減少爪泵因故障而造成的停機時間,不會耽誤企業的生產,對企業經濟效益的提升有著切實的幫助。以上就是介紹的干式真空泵冬季使用指南,希望對大家有幫助,更多的資訊請繼續關注我們的網站。干式真空泵有哪些優點:干式真空泵**為顯然的能力即是不用水來做介質,與傳統的真空設備相比,它不妨有用的節儉水資源,減少企業的資源打發,真正使企業的制作愈加的環保,而且不妨提升企業制作發展的能力。同時,在不停發展的優勢能力下,干泵的功能依然充分體現出其自身的優勢,要加大對產物使用開辟能力的重要性,針對企業制作的需求,加大對技藝優勢能力的不停發動,升高產物制作能力的有用展示。以干式真空泵的整體水平,加速產物制作的能力,加固其各方面使用能力的體現,根據中華的行業狀況,加大對產物開辟的投入,積極學習各方面先進的技藝,加固自我開辟的能力,從而體現出干泵的功能。干式真空泵是將來行業發展的趨向,盡管現在用的還不多,除去價值高緣故外。沃德氣體熱忱歡迎新老客戶惠顧。淄博旋片干式真空泵機組
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真空泵在安裝時有哪些要求真空泵是常見的真空設備,那么,真空泵在安裝時有哪些要求呢?真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空,有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養。真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運轉平穩,振動小。真空泵與系統的連接管道應密封可靠。多級干式真空泵廠家
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