（3）X射線強度測量系統。特征X射線，由B系統中的計數管接收，并轉換成電脈沖，通過脈沖高度分析儀、計數率計、定標器、電子電位計將其強度測量出來。（4）光學顯微鏡目測系統。用以準確選擇需要分析的區域，并作光學觀察。（5）背散射電子圖像系統。（6）吸收電子圖像系統。（7）特征X射線圖像系統。電子探針的技術**是利用X射線晶體光學，主要應用兩種方法：1）晶體衍射法（X射線光譜法）。利用晶體轉到一定角度，來衍射某種波長的X射線，通過讀出晶體不同的衍射角，求出X射線的波長，從而定出樣品所含的元素。這種神秘的Wi-Fi探針,實際是“WiFi信道掃描工具”。松江區特制探針生產廠家

該系統為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束，作為X射線的激發源。為此，一般也采用鎢絲熱發射電子槍和2-3個聚光鏡的結構。 為了提高X射線的信號強度，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是，先利用能發出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下，這是就能觀察到電子束轟擊點的位置，通過樣品移動裝置把它調到光學顯微鏡目鏡十字線交叉點上，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上，同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學顯微鏡是同軸反射式物鏡，其優點是光學觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數為100-500倍。嘉定區標準探針商家掃描電子探針儀是美國于1960年制成，不僅能對試樣作點或微區分析，而且能對樣品表面微區進行掃描。

電子探針是運用電子所形成的探測針（細電子束）作為X射線的激發源來進行顯微X射線光譜分析的儀器。分析對象是固體物質表面細小顆粒或微小區域，**小范圍直徑為1μm。電子探針可測量的化學成分的元素范圍一般從原子序數12（Mg）至92（U），原子序數大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進行測量。電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀，原因是電子探針X射線的本底值高于后者，但電子探針的***感量比其他儀器都高。此外，后期生產的儀器，可作X射線背散射照相、******照相。能兼作透射電鏡、能進行電子衍射、能作電子熒光觀察等。

X射線譜儀能譜儀電子束轟擊樣品表面將產生特征X射線，不同的元素有不同的X射線特征波長和能量。通過鑒別其特征波長或特征能量就可以確定所分析的元素。利用特征波長來確定元素的儀器叫做波長色散譜儀（波譜儀），利用特征能量的就稱為能量色散譜儀（能譜儀）。1、波譜儀波譜儀的關鍵在于怎樣實現將未知的特征譜線與已知元素Z聯系起來？為此設想有一種晶面間距為d的特定晶體（我們稱為分光晶體），當不同特征波長λ的X射線照射其上時，如果滿足布拉格條件（2dsinθ=λ）將產生衍射。顯然，對于任意一個給定的入射角θ*有一個確定的波長λ滿足衍射條件。近年形成了掃描電鏡-顯微分析儀的聯合裝置，可在觀察微區形貌的同時逐點分析試樣的化學成分及結構。

這樣我們可以事先建立一系列θ角與相應元素的對應關系，當某個由電子束激發的X特征射線照射到分光晶體上時，我們可在與入射方向交成2θ角的相應方向上接收到該波長的X射線信號，同時也就測出了對應的化學元素。只要令探測器連續進行2θ角的掃描，即可在整個元素范圍內實現連續測量。由分光晶體所分散的單一波長X射線被X射線檢測器接受，常用的檢測器一般是正比計數器。當某一X射線光子進入計數管后，管內氣體電離，并在電場作用下產生電脈沖信號。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統的構造基本相同，它們常常組合成單一的儀器。嘉定區標準探針商家

利用特征波長來確定元素的儀器叫做波長色散譜儀（波譜儀），利用特征能量的就稱為能量色散譜儀（能譜儀）。松江區特制探針生產廠家

電子探針分析是指以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線，對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗，又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是：以動能為10～30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特征X射線。電子探針的功能主要是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。其原理是用細聚焦電子束入射樣品表面，激發出樣品元素的特征x射線，分析特征X射線的波長（或特征能量）即可知道樣品中所含元素的種類（定性分析），分析X射線的強度，則可知道樣品中對應元素含量的多少（定量分析）。松江區特制探針生產廠家

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