基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計，通過對比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化，實現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準(zhǔn)方式：兩點對準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗：實驗室環(huán)境下進行精密光學(xué)計量分析它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。吳中區(qū)銷售雙頻激光干涉儀選擇

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計的光學(xué)精密計量儀器，主要用于檢測光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導(dǎo)體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點，適用于光學(xué)車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測量口徑設(shè)計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。蘇州通用雙頻激光干涉儀性價比其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀，以下是對其的詳細(xì)介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光，通過分束后分別作為參考光和測量光。測量光經(jīng)移動目標(biāo)反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號，通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說：雙頻生成：激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經(jīng)分光鏡分為兩路，一路為參考光（頻率穩(wěn)定），另一路為測量光（頻率經(jīng)被測物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf）。

分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)，**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高，周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài)，以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀：出現(xiàn)于1970年，適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。

干涉圖樣分析：通過觀察干涉條紋的變化，可以獲取關(guān)于物**移、形狀、厚度等信息。激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測量、材料科學(xué)、光學(xué)研究、工程檢測等領(lǐng)域。常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩**涉儀和激光位移傳感器等。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現(xiàn)象的儀器，利用干涉原理來分析波的特性。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加，形成新的波形的現(xiàn)象。干涉儀廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、工程學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加，形成新的波形的現(xiàn)象。常熟通用雙頻激光干涉儀選擇

現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。吳中區(qū)銷售雙頻激光干涉儀選擇

環(huán)境適應(yīng)力強即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測量機，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機床的刻度進行標(biāo)定。實時動態(tài)測速高現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀**終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中因此，對于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應(yīng)用，具有重大意義。吳中區(qū)銷售雙頻激光干涉儀選擇

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