激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計(jì)的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于檢測(cè)光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測(cè)量精度可達(dá)到1/10-1/100波長(zhǎng)量級(jí)，采用半導(dǎo)體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)，適用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景的批量檢測(cè) [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號(hào)產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量口徑設(shè)計(jì)，可滿足不同使用場(chǎng)景需求 [2-4]。截至2025年，相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國(guó)內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。廣泛應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測(cè)量、精密制造等領(lǐng)域。工業(yè)園區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

另一方面，當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào)，而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f，結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō)，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等張家港本地雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。

激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：科學(xué)研究：用于檢測(cè)引力波、測(cè)量微小位移和振動(dòng)等。工業(yè)制造：用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中，激光干涉儀能夠測(cè)量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等，以及速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性。計(jì)量學(xué)：用于長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信：用于光纖傳感和信號(hào)處理。四、主要特點(diǎn)高精度：激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量精度，非常適合各種高精度測(cè)量應(yīng)用。

（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量，其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。（4）雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度，而且還能通過(guò)RS232接口，自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào)，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。

雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。常熟通用雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家

高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度，適用于微小位移的檢測(cè)。工業(yè)園區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè)，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等，通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測(cè)線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測(cè)量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測(cè)量精度：0.2%工業(yè)園區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

蘇州貝格納工業(yè)設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度，多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績(jī)讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力，貝格納供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái)，回首過(guò)去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜，相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來(lái)！