(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到比較好精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。干涉儀的應用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學特性等。昆山附近雙頻激光干涉儀設備廠家
光源:提供相干光,通常是激光,因為激光具有高度的相干性,能夠產生穩定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調節光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測器)上相遇時具有合適的相位差。干涉屏(或檢測器):顯示干涉結果,或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類,常見的分類方法包括:按結構區分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。蘇州本地雙頻激光干涉儀五星服務雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進行干涉測量的儀器。
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個根本弱點就是受環境影響嚴重,在測試環境惡劣,測量距離較長時,這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統,必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時,光電接收器會輸出信號,如果信號超過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來,而如果激光束強度發生變化,就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數,使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流,機床油霧,切削屑對光束的影響,結果光束發生偏移或波面扭曲。
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經過透射和反射后,來到觀察區域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等,兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現為等傾干涉的圓環形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。
環境適應力強:雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大,即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內使用,也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。實時動態測速高:現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態測量。三、應用領域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機械),也可對手表零件等微米級運動進行測量。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加,形成新的波形的現象。蘇州本地雙頻激光干涉儀五星服務
邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發明,主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。昆山附近雙頻激光干涉儀設備廠家
按照干涉光來源區分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]; 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應用極為***,主要有如下幾方面:長度測量在雙光束干涉儀中,若介質折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發生變化所造成,根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。昆山附近雙頻激光干涉儀設備廠家
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