深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優化Bosch工藝參數，實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時，可精確復制地下巖層的微孔結構，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應腔中，高深寬比流道增加了反應物接觸面積，使酶促反應速率提升40%。公司還開發了雙面刻蝕與通孔對齊技術，實現三維立體流道網絡加工，為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力，推動MEMS技術在能源、環境等領域的跨學科應用。多樣化微流控芯片加工案例覆蓋數字 PCR、單分子檢測、POCT 等多個領域。黑龍江微流控芯片的微流控芯片

高標準PDMS微流控芯片產線的批量生產能力：依托自研單分子系列PDMS芯片產線，公司建立了從材料制備到成品質檢的全流程標準化體系。PDMS芯片生產包括硅模制備、預聚體澆筑、固化切割、表面改性及鍵合封裝五大工序，其中關鍵環節如硅模精度控制（±1μm）、表面親疏水修飾（接觸角誤差<5°）均通過自動化設備實現，確保批量產品的一致性。產線配備光學顯微鏡、接觸角測量儀及壓力泄漏測試儀，對芯片流道尺寸、密封性能及表面特性進行100%全檢，良品率穩定在98%以上。典型產品包括單分子免疫檢測芯片、數字ELISA芯片及細胞共培養芯片，單批次產能可達10,000片以上。公司還開發了PDMS與硬質卡殼的復合封裝技術，解決了軟質芯片的機械強度不足問題，適用于自動化檢測設備的集成應用，為生物制藥與體外診斷行業提供了可靠的批量供應保障。湖南微流控芯片檢測系統微流控技術能夠把樣本檢測整個過程集中在幾厘米的芯片上。

L-Series包括嚴格的機械平臺，集成了顯微鏡技術、微定位和計量學等方法。可應用于芯片電場的微型電位計（Microport）也作為其開發的副產品。L-Series致力于真正的解決微流控設備開發者所遇到的難題：構造芯片系統和提供實用程序，Sartor說：“若是將襯質和芯片粘合在一起，需要經過長期的多次測試，”設計者若想改變流體通道，必須從頭開始。L-Series檢測組使內聯測試和假設分析實驗變得更簡單，測試一個新設計只要交換芯片即可。當前，L-Series設備只能在手動模式下運行，一次一個芯片，但是Cascade 正在考慮開發可平行操作多個芯片的設備。

微流控芯片是微流控技術實現的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構，流體在其中顯示和產生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發展出獨特的分析產生的性能。微流控芯片的特點及發展優勢：微流控芯片具有液體流動可控、消耗試樣和試劑極少、分析速度成十倍上百倍地提高等特點,它可以在幾分鐘甚至更短的時間內進行上百個樣品的同時分析,并且可以在線實現樣品的預處理及分析全過程。微孔陣列技術實現液滴陣列化，用于數字 PCR、高通量藥物篩選等場景。

利用微流控芯片對tumour標志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領域，Regiart等研制一種用于tumour生物標志物檢測的超敏感便攜式微流控設備，總檢測時間只需20 min，具有穩定性高、攜帶方便、敏感性高等優點。由于tumour的分子機制復雜，不能依靠單一生物標志物來診斷，同時測定一組生物標志物可顯著提高診斷的特異性和準確性。Jones等人設計了一款可同時檢測8種標志物的微流控免疫芯片，用于診斷前列腺cancer并區分是否具有侵襲性，以減少患者不必要的活檢和手術。硬質塑料微流控芯片可加工 PMMA、COC 等材質，滿足工業檢測與 POCT 需求。黑龍江微流控芯片的微流控芯片

MEMS 工藝實現超薄柔性生物電極定制，用于腦機接口電刺激與電信號記錄。黑龍江微流控芯片的微流控芯片

微流控芯片的未來發展與公司技術儲備：面對微流控技術向集成化、智能化發展的趨勢，公司持續投入三維多層流道加工、芯片與微納傳感器/執行器的異質集成，以及生物相容性材料創新。在技術儲備方面，已突破10μm以下尺度的納米流道加工（結合電子束光刻與納米壓印），為單分子DNA測序芯片奠定基礎；開發了基于形狀記憶合金的微閥驅動技術，實現芯片內流體的主動控制；儲備了可降解聚合物（如聚乳酸-羥基乙酸共聚物，PLGA）微流控芯片工藝，適用于體內植入式檢測設備。未來，公司將聚焦“芯片實驗室”全集成解決方案，推動微流控技術在個性化醫療、環境監測、食品安全等領域的深度應用，通過持續創新保持在微納加工與生物傳感芯片領域的技術地位。黑龍江微流控芯片的微流控芯片