微米級尺度微流控芯片的精密加工與應用：在0.5-5μm微米級尺度微流控芯片加工領域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術，實現亞微米級精度的微流道、微孔陣列及三維結構制造。電鏡下可見的精細流道網絡，其寬度誤差可控制在±50nm以內，適用于單分子檢測、液滴生成等超高精度場景。例如，在單分子免疫檢測芯片中，微米級微孔陣列可實現單個生物分子的捕獲與熒光信號放大，檢測靈敏度較傳統方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制，公司通過干濕結合刻蝕工藝與表面化學修飾技術，解決了高深寬比結構（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應用于外泌體分選、循環腫瘤細胞捕獲等前沿生物醫學領域，為精細醫療提供器件支撐。微流控芯片技術用于液體活檢。什么是微流控芯片的MEMS加工

利用微流控芯片對tumour標志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領域，Regiart等研制一種用于tumour生物標志物檢測的超敏感便攜式微流控設備，總檢測時間只需20 min，具有穩定性高、攜帶方便、敏感性高等優點。由于tumour的分子機制復雜，不能依靠單一生物標志物來診斷，同時測定一組生物標志物可顯著提高診斷的特異性和準確性。Jones等人設計了一款可同時檢測8種標志物的微流控免疫芯片，用于診斷前列腺cancer并區分是否具有侵襲性，以減少患者不必要的活檢和手術。采用MEMS加工的微流控芯片加工廠利用微流控芯片對cancer標志物檢測。

柔性電極芯片在腦機接口中的關鍵加工工藝：腦機接口技術對柔性電極的超薄化、生物相容性及信號穩定性提出極高要求。公司利用MEMS薄膜沉積與光刻技術，在聚酰亞胺（PI）或PDMS柔性基板上制備厚度<10μm的金屬電極陣列，電極間距可達20μm，實現對單個神經元電信號的精細記錄。通過濕法刻蝕形成柔性支撐結構，配合邊緣圓潤化處理，將手術植入時的腦組織損傷風險降低60%以上。表面涂層采用聚乙二醇（PEG）與氮化硅復合層，有效抑制蛋白吸附與炎癥反應，使電極壽命延長至6個月以上。典型產品MEA柔性電極已應用于癲癇病灶定位與神經康復設備，其高柔韌性可貼合腦溝回復雜曲面，信號信噪比提升30%，為神經科學研究與臨床醫治提供了突破性解決方案。

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結構的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術設備，是大量生產廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當的陽模。微流控芯片的前景是什么？

微針電極與組織液提取芯片的創新加工技術：微針電極作為生物檢測與給藥的前沿器件，需兼顧機械強度與生物相容性。公司采用干濕結合刻蝕工藝，在硅或硬質塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列，針尖曲率半徑控制在5μm以內，確保穿刺過程的低創傷性。針對類***電生理記錄需求，開發了“觸凸”電極結構，在微針頂端集成納米級金屬電極（如金/鉑薄膜），實現對單個細胞電信號的高靈敏度捕獲。同時，微針陣列可用于組織液提取，通過中空結構設計與毛細作用，在30秒內完成微升量級體液采集，避免傳統**的痛苦與***風險。該技術結合表面親疏水修飾，解決了微針堵塞與生物污染問題，已應用于連續血糖監測芯片與藥物透皮遞送系統，為可穿戴醫療設備提供**組件支持。微孔陣列技術實現液滴陣列化，用于數字 PCR、高通量藥物篩選等場景。四川微流控芯片發展前景

微流控芯片技術用于毛細管電泳分離。什么是微流控芯片的MEMS加工

標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環節。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液（CV<3%），通量達10,000滴/秒，用于單細胞RNA測序時，細胞捕獲效率超過95%。此外，PDMS芯片的表面改性技術（如二氧化硅涂層）可降低生物污染，在長期細胞培養中保持表面親水性超過30天。該產線已為多家IVD企業提供定制化服務，例如開發的核酸快檢芯片，將樣本到結果的時間縮短至30分鐘，靈敏度達98%，成為基層醫療機構的主要檢測工具。什么是微流控芯片的MEMS加工