微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境，無法實現快速批量生產。apparatus微流控芯片的應用。江蘇微流控芯片技術的研究進展

apparatus微流控芯片（OoC）：OoC是一種微工程3D體外組織模型，其中微區室通過幾個微流控通道連接。它有助于復制任何apparatus的生理環境。此外，它也可用于生化分析。在藥物發現過程中，重要的是在進行臨床試驗之前預測任何藥物的作用。這一步通常既費時又昂貴。相反，OoC使用微制造技術以簡化模擬apparatus的整個生理部分。它通過減少臨床前測試和人體試驗之間的差距來降低成本并提高吞吐量。Franzen等人對此進行了處理，估計每種新藥的研發成本下降了10-26%，因此顯示出積極的成本影響。江蘇微流控芯片技術的研究進展微流控芯片的特點是什么？

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結構的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術設備，是大量生產廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當的陽模。

肺組織微流控器官芯片（LoC）：這是另一種在微型設備上的人肺的3D工程復雜模型。它基本上構成了人類的肺和血管。該系統可能在很大程度上有助于肺部的生理研究。此外，它還有助于研究肺泡囊中吸收的納米顆粒的特征，并進一步模擬病原體引發的炎癥反應。此外，它可用于測試由環境toxin和氣溶膠產品引起的影響。LoC使研究人員能夠研究apparatus或人體的體外生理作用，因此，它被用于不同肺部疾病醫療方式的戰略實施。在組織設計中，微流控創新通過提供氧氣，營養和血液，在復雜組織的發展方面發揮著重要作用。它為肺細胞開發了一個微環境來研究生理活動。Wyss研究所設計了各種肺部微芯片，以演示典型LoC的工作。這些微芯片還能夠模擬肺水腫。微流控芯片技術用于毛細管電泳分離。

微流控芯片是微流控技術實現的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構，流體在其中顯示和產生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發展出獨特的分析產生的性能。微流控芯片的特點及發展優勢：微流控芯片具有液體流動可控、消耗試樣和試劑極少、分析速度成十倍上百倍地提高等特點,它可以在幾分鐘甚至更短的時間內進行上百個樣品的同時分析,并且可以在線實現樣品的預處理及分析全過程。微流控芯片技術用于基因測序。浙江微流控芯片 產業化

微流控芯片的用途有什么？單分子免疫微流體生物傳感芯片是微流控技術在超高靈敏度生物檢測領域的一大應用。江蘇微流控芯片技術的研究進展

Cascade 有兩個測試用戶：馬里蘭大學Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發了另一套微流控分析設備。該設備提供了一個由微反應板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結構工具包。可單獨購買模塊載片。 ThinXXS還制造獨有芯片，生產微流體和微光學設備和部件并提供相應的服務。將微流控技術應用于光學檢測已經計劃很多年了，thinXXS一直都在進行這方面的綜合研究，但未提供詳細資料。但是，據了解，該技術采用了先進的MEMS傳感器的微納米制造工藝，所以芯片得到了非常好的測試效果。江蘇微流控芯片技術的研究進展