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立式爐的加熱系統是如何工作的??

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賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司2025-03-07

立式爐的加熱系統一般采用電阻加熱或感應加熱方式。電阻加熱是通過加熱元件(如硅碳棒、鉬絲等)通電后產生熱量,熱量均勻地傳遞到爐腔內部,使爐腔內溫度升高。感應加熱則是利用交變磁場在被加熱物體(如半導體晶圓)中產生感應電流,電流通過材料自身電阻發熱,這種方式升溫速度快,且能實現局部加熱,更精細地控制加熱區域和溫度。加熱系統會與溫度控制系統緊密配合,確保爐內溫度能快速穩定地達到設定值,并維持在高精度范圍內。?

賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司
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簡介:賽瑞達成立于2021年,專注于半導體設備的研發、生產與銷售。公司位于無錫,致力于提供定制化解決方案。
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賽瑞達致力于成為半導體裝備的主導品牌。
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