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搬運晶圓的工作方式是什么?

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江蘇飏天機器人科技有限公司2024-07-20

從任意晶圓欄框內任意位置抓取晶圓片,放入鍍膜爐內。 晶圓鍍膜完成后,機器人從爐內逐片取出晶圓放入冷卻位置, 然后再從冷卻位置抓取放入任意晶圓欄框內的任意位置。 (所有位置信息均有客戶系統指定)

江蘇飏天機器人科技有限公司
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簡介:飏天機器人是天津大學無錫研究院的孵化企業,主營產品有協作機器人、復合機器人、碼垛工作站、大負載機器人
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